高密度AZO靶材及其制备方法

摘要

本发明公开了一种高密度AZO靶材及其制备方法，高密度AZO靶材主要包括以下重量百分比的原料：Al2O3粉体0.7-4.5%、ZnO粉体66-76%、溶剂5‰及水20-30%，所述溶剂是聚乙烯二醇或乙醇；其制备方法是将氧化铝与氧化锌混合，加入溶剂及水搅拌成均匀的浆料，经离心、超声振动、得到生坯料，再脱脂，烧结，经冷却，制得成品高密度AZO靶材。本发明的原料组份简单，制备方法使得生坯能够快速成型，而且能够减少生坯中的气体含量，提高成品率；用本方法制备AZO靶材还可以不受靶材形状和尺寸的限制，平面和旋转的都可以用此方法生产；在生产的过程中设备的投入较少，为工业化的量产提供了真正切实可行的方法。

主权项

一种高密度AZO靶材，其特征在于主要包括以下重量百分比的原料：Al2O3 粉体0.7‑4.5% 、ZnO粉体66‑76%、溶剂5‰及水20‑30%，所述两种粉体的纯度均大于或等于99.99%，平均粒径为5‑‑10微米；所述溶剂是聚乙烯二醇或乙醇。