发明名称 用于酸性蚀刻液循环设备的母液收集槽
摘要 本实用新型公开了一种用于酸性蚀刻液循环设备的母液收集槽,包括槽体(6),所述槽体(6)整体呈方形,槽体(6)下表面设方形的底座(1),槽体(6)上表面设有方形的安装平台,安装平台上安装有槽盖(3),所述槽体(6)的左端面上部位置连接有进液管(2),槽体(6)右端面在上部和下部分别连接有循环管(4)和出液管(7)。本实用新型的优点在于:本实用新型设计的这种用于酸性蚀刻液循环设备的母液收集槽,不仅结构简单、成本低,且密封性好,实用性强。
申请公布号 CN202730243U 申请公布日期 2013.02.13
申请号 CN201220423809.1 申请日期 2012.08.24
申请人 成都虹华环保科技有限公司 发明人 韦建敏;赵兴文;张小波;张晓蓓;吴圣杰
分类号 C23F1/46(2006.01)I 主分类号 C23F1/46(2006.01)I
代理机构 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 代理人 谢敏
主权项 用于酸性蚀刻液循环设备的母液收集槽,其特征在于:包括槽体(6), 所述槽体(6)整体呈方形,槽体(6)下表面设方形的底座(1),槽体(6)上表面设有方形的安装平台,安装平台上安装有槽盖(3),所述槽体(6)的左端面上部位置连接有进液管(2),槽体(6)右端面在上部和下部分别连接有循环管(4)和出液管(7)。
地址 610000 四川省成都市成都高新区西芯大道4号