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发明名称
METHOD OF ETCHING
摘要
申请公布号
GB1411979(A)
申请公布日期
1975.10.29
申请号
GB19720042441
申请日期
1972.09.13
申请人
STALEY MFG CO A E
发明人
分类号
C23F1/00;C23F1/02;G03F7/00;G03F7/004;G03F7/26;G03F7/28;H01L21/306;H05K3/06;(IPC1-7):G03C5/00
主分类号
C23F1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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