一种酸性铜蚀刻液及其制备工艺

摘要

本发明涉及一种酸性铜蚀刻液，其特征在于，所述铜蚀刻液质量百分比组成为：硫酸1%~20%、过硫酸盐5%~25%、表面活性剂0.05~0.5wt%和余量的纯水；所述表面活性剂为非离子型表面活性剂。所述工艺包括如下步骤：第一步：将硫酸、过硫酸盐、表面活性剂和纯水四种原料按权利要求1所述配比称重配置；第二步：将硫酸加入配料罐中，搅拌下加入过硫酸盐，将其搅拌均匀；第三步：往混匀的硫酸和过硫酸盐混合溶液中加入非离子表面活性剂，然后加入纯水，充分搅拌；第四步：将混合物通入过滤器进行过滤，得到所述铜蚀刻液。本发明蚀刻液蚀刻速度快，蚀刻均匀，不影响其他金属层，且药液对环境污染小。

主权项

一种酸性铜蚀刻液，其特征在于，所述铜蚀刻液质量百分比组成为：硫酸1%~20%、过硫酸盐5%~25%、表面活性剂0.05~0.5wt %和余量的纯水；所述表面活性剂为非离子型表面活性剂。