发明名称 忆阻器器件及其制备方法
摘要 本发明公开了一种忆阻器器件及其制备方法。该忆阻器器件包括:衬底;形成于衬底之上的下电极;形成于下电极之上的记忆存储层;以及形成于记忆存储层之上的上电极。所述记忆存储层由两层具有不同氧元素含量的氧化物材料构成。制备该忆阻器器件的方法包括:在衬底上生长导电材料作为下电极;在下电极上生长记忆存储层,所述记忆存储层由双层氧化物材料构成,其中两层氧化物材料中氧元素的含量不同;在记忆存储层上生长导电材料作为上电极。本发明制备方法简单,制备工艺与传统的CMOS工艺兼容,在存储器领域有一定的应用前景。
申请公布号 CN102931346A 申请公布日期 2013.02.13
申请号 CN201110230881.2 申请日期 2011.08.12
申请人 中国科学院微电子研究所 发明人 刘明;李颖弢;龙世兵;吕杭炳;刘琦
分类号 H01L45/00(2006.01)I 主分类号 H01L45/00(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 周国城
主权项 一种忆阻器器件,其特征在于,包括:衬底(100);形成于衬底(100)之上的下电极(101);形成于下电极(101)之上的记忆存储层(102);以及形成于记忆存储层(102)之上的上电极(103)。
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