用于化学气象沉积装置的电源装置及其控制方法

摘要

本发明的实施例涉及用于化学气象沉积（Chemical Vapor Deposition，CVD）装置的电源装置，包括：绝缘变压器，对输入电压进行绝缘变压并分级输出；接头切换开关，各切换上述分级输出；辅助变压器，具有与上述绝缘变压器的二次侧线圈的点方向不同的点方向的二次侧线圈；第一开关，其一端连接于上述辅助变压器的上述二次侧线圈的一端；第二开关，连接于上述绝缘变压器的上述二次侧线圈的一端和上述第一开关的另一端之间；及第三开关，连接于上述第一及第二开关的共同连接点和负载之间的共同连接点之间；另外，还可以包括控制上述第一至第三开关及上述接头切换开关的切换的切换控制部，而且，即使使用具有比现有技术低的额定电压的接头切换开关，也能在满足硅晶体生长所需的CVD工艺的负载特性的同时，维持开关的可靠性。

主权项

一种用于化学气象沉积装置的电源装置，包括：绝缘变压器，对输入电压进行绝缘变压并分级输出；接头切换开关，各切换上述分级输出；辅助变压器，具有与上述绝缘变压器的二次侧线圈的点方向不同的点方向的二次侧线圈；第一开关，其一端连接于上述辅助变压器的上述二次侧线圈的一端；第二开关，连接于上述绝缘变压器的上述二次侧线圈的一端和上述第一开关的另一端之间；以及第三开关，连接于上述第一及第二开关的共同连接点和负载之间的共同连接点之间；另外，还可以包括控制上述第一至第三开关及上述接头切换开关的切换的切换控制部。