发明名称 | 一种深紫外氟化镁晶体生长方法 | ||
摘要 | 一种深紫外氟化镁晶体生长方法,它涉及单晶生长技术领域。它包括步骤为:将MgF2和ZnF2混合粉体和种晶放入铂坩埚;将铂坩埚放入单晶炉中,将单晶炉内通入氮气;采用开放式提拉法生长氟化镁单晶。本发明生长晶体完整性好,无气泡无包络物,晶体尺寸大,不易开裂,紫外波段透过率高,成品率高,工艺设备简单,能耗低,有利于实现工业化生产。 | ||
申请公布号 | CN102925963A | 申请公布日期 | 2013.02.13 |
申请号 | CN201210448959.2 | 申请日期 | 2012.10.31 |
申请人 | 合肥嘉东科技有限公司 | 发明人 | 王冬;胡卫东 |
分类号 | C30B15/00(2006.01)I;C30B29/12(2006.01)I | 主分类号 | C30B15/00(2006.01)I |
代理机构 | 代理人 | ||
主权项 | 一种深紫外氟化镁晶体生长方法,包括以下步骤:将MgF2和ZnF2混合粉体和种晶放入铂坩埚;将铂坩埚放入单晶炉中,将单晶炉内通入氮气;采用开放式提拉法生长氟化镁单晶。 | ||
地址 | 安徽省合肥经济技术开发区明珠广场3号楼 |