发明名称 一种深紫外氟化镁晶体生长方法
摘要 一种深紫外氟化镁晶体生长方法,它涉及单晶生长技术领域。它包括步骤为:将MgF2和ZnF2混合粉体和种晶放入铂坩埚;将铂坩埚放入单晶炉中,将单晶炉内通入氮气;采用开放式提拉法生长氟化镁单晶。本发明生长晶体完整性好,无气泡无包络物,晶体尺寸大,不易开裂,紫外波段透过率高,成品率高,工艺设备简单,能耗低,有利于实现工业化生产。
申请公布号 CN102925963A 申请公布日期 2013.02.13
申请号 CN201210448959.2 申请日期 2012.10.31
申请人 合肥嘉东科技有限公司 发明人 王冬;胡卫东
分类号 C30B15/00(2006.01)I;C30B29/12(2006.01)I 主分类号 C30B15/00(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种深紫外氟化镁晶体生长方法,包括以下步骤:将MgF2和ZnF2混合粉体和种晶放入铂坩埚;将铂坩埚放入单晶炉中,将单晶炉内通入氮气;采用开放式提拉法生长氟化镁单晶。
地址 安徽省合肥经济技术开发区明珠广场3号楼