具有隐藏铰链的钢琴型微电子机械镜

摘要

根据本发明的微电子机械镜装置，包括可绕两个互相垂直的轴枢转的平台，和设置在平台下面的铰链结构。铰链结构包括第一铰链和第二铰链以及在平台层下面单层制造的平衡环。铰链结构的一端从平台下表面延伸，而另一端从底座延伸，该底座从基片向上延伸。

主权项

一种微电子机械装置，包括：平台，其在基片上方可绕相互垂直的第一轴和第二轴枢转；底座，在所述平台下面从所述基片向上延伸；第一扭转铰链；平衡架，至少部分沿所述第一扭转铰链延伸，用于沿所述第一轴接收所述第一扭转铰链的外端；以及第二扭转铰链；其特征在于：所述第一扭转铰链由两个扭转梁构成，所述第一扭转铰链的两个扭转梁从所述底座的相对面向外延伸，能使所述平台倾斜于所述第一轴；所述第二扭转铰链由两个扭转梁构成，所述第二扭转铰链的两个扭转梁从所述平衡架的相对面延伸，且所述第二扭转铰链的两个扭转梁的端部沿所述第二轴连接到从所述平台下面向下延伸的裙板，能使所述平台绕所述第二轴滚动；和所述第一扭转铰链和所述第二扭转铰链被完全设置在所述平台下面，以使相邻微电子机械装置紧密组合在一起。