发明名称 一种微小金属丝/球可变形性的测量装置及方法
摘要 本发明公开了一种微小金属丝/球可变形性的测量装置,主要包括线夹、振幅杆、键合工具、键合平台和底座,底座上设有连接杆,线夹及振幅杆连接固定在连接杆上,底座上固定有键合平台,振幅杆的一端夹有键合工具,振幅杆的另一端安装有光栅尺,线夹上设有力传感器。一种微小金属丝/球可变形性的测量方法,键合工具向下运动直至金属材料与键合平台相接触,记录此时键合工具的位置z1;然后对金属材料施加指定变形载荷后,记录金属材料变形后的键合工具位置z2;计算出金属材料在特定变形载荷作用下所发生的塑性变形量,本发明有益的效果是:本发明通过测量装置对金属材料进行测量,然后进行可变形性能比较,执行速度快,分辨力高。
申请公布号 CN102042938B 申请公布日期 2013.02.13
申请号 CN200910154014.8 申请日期 2009.10.22
申请人 浙江金凯微电子有限公司 发明人 贾云
分类号 G01N3/28(2006.01)I 主分类号 G01N3/28(2006.01)I
代理机构 杭州九洲专利事务所有限公司 33101 代理人 陈继亮
主权项 一种微小金属丝/球可变形性的测量装置,主要包括线夹(1)、振幅杆(5)、键合工具(3)、键合平台(4)和底座(10),其特征在于:底座(10)上设有连接杆(7),线夹(1)及振幅杆(5)连接固定在连接杆(7)上,底座(10)上固定有键合平台(4),振幅杆(5)的一端夹有键合工具(3),键合工具(3)与键合平台(4)相对应,振幅杆(5)的另一端安装有光栅尺(8),线夹(1)上设有力传感器(2),力传感器(2)位于振幅杆(5)的上部。
地址 322100 浙江省东阳市环城南路888号