| 发明名称 | 一种新型的具有排气功能的常压等离子体自由基清洗喷枪 | ||
| 摘要 | 一种新型的具有排气功能的常压等离子体自由基清洗喷枪，本发明是一种新型的具有排气功能的常压等离子体自由基清洗喷枪，包括射频电极、接地电极、射频电源以及排气风扇。其特征在于：喷枪由内壁面和外壁面两层组成，射频电极和接地电极在内壁面内，射频电极被介质阻挡层包裹，常压下，射频电极与接地电极的间隙之间发生放电，产生等离子体，等离子体中的自由基在气流的携带下从喷口喷射出来，与被清洗物体表面有机物发生反应，产生的反应产物可以及时通过排气口排走，防止了反应产物的堆积以及降低了反应产物对放电的影响，提高了处理速率，并且环保。 | ||
| 申请公布号 | CN102921676A | 申请公布日期 | 2013.02.13 |
| 申请号 | CN201110228265.3 | 申请日期 | 2011.08.10 |
| 申请人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明人 | 王守国;贾少霞;赵玲利 |
| 分类号 | B08B7/00(2006.01)I;B08B15/04(2006.01)I;H05H1/30(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | B08B7/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种新型的具有排气功能的常压等离子体自由基清洗喷枪，本发明是一种新型的具有排气功能的常压等离子体自由基清洗喷枪，包括射频电极、接地电极、射频电源以及排气风扇。其特征在于：喷枪由内壁面和外壁面两层组成，射频电极和接地电极在内壁面内，射频电极被介质阻挡层包裹，常压下，射频电极与接地电极的间隙之间发生放电，产生等离子体，等离子体中的自由基在气流的携带下从喷口喷射出来，与被清洗物体表面有机物发生反应，产生的反应产物可以及时通过排气口排走，防止了反应产物的堆积以及降低了反应产物对放电的影响，提高了处理速率，并且环保。 | ||
| 地址 | 100029 北京市朝阳区北土城西路3号 | ||