| 主权项 |
一种基于形状记忆材料粗动驱动器的精密微动平台，其特征在于载物台(21)通过载物台安装螺栓(10)固装在Y向微动平台(11)上端面上，所述的Y向微动平台(11)通过四个Y向微动柔性铰链机构(9)安装在X向微动平台(7)的内部；Y向压电微动驱动器(19)安装在X向微动平台(7)的驱动槽内，且其两端分别与Y向微动平台(11)和X向微动平台(7)接触配合；X向微动平台(7)通过四个X向微动柔性铰链机构(20)安装在XY二维微动平台底座(12)内部，X向压电微动驱动器(6)安装在XY二维微动平台底座(12)的驱动槽内，且其两端分别与X向微动平台(7)和XY二维微动平台底座(12)接触配合；XY二维微动平台底座(12)通过XY二维微动平台安装螺栓(5)固装在X向粗动平台(17)上端面上；X向粗动平台(17)与X向粗动平台底座(16)通过X向粗动滑道(13)相配合；X向形状记忆材料粗动驱动器(4)的两端部通过连接件分别安装在X向粗动平台(17)和X向粗动平台底座(16)的槽内，X向粗动平台底座(16)通过X向粗动平台底座安装螺栓(14)固装在Y向粗动平台(3)上端面上，Y向粗动平台(3)与Y向粗动平台底座(2)通过Y向粗动滑道(8)相配合；Y向形状记忆材料粗驱动器(18)的两端通过连接件分别安装在Y向粗动平台(3)和Y向粗动平台底座(2)的槽内；Y向粗动平台底座安装螺栓(15)将Y向粗动平台底座(2)固装在底座(1)上端面上。 |
