用于使用于冷离子注入的扭转轴线升温的有效方法

摘要

本发明公开了一种用于使离子注入环境中的旋转连接体升温的方法，该方法提供构造成绕着第一轴线旋转的扫描臂以及经由电动机连接到扫描臂以选择性地固定工件的末端执行器。末端执行器被构造成绕着第二轴线旋转，并具有与第二轴线和电动机相关联的轴承和密封件。电动机被启动，并且电动机的旋转由于末端执行器绕着第二轴线的旋转在预定时间之后或当电动机出现故障时反转。确定末端执行器绕着第二轴线的旋转是否可接受，并且当末端执行器的旋转是不可接受的时，扫描臂绕着第一轴线往复运动，其中末端执行器的惯性造成末端执行器绕着第二轴线旋转。

主权项

一种用于使离子注入环境中的旋转连接体升温的方法，所述方法包括以下步骤：提供扫描臂和末端执行器，所述扫描臂被构造成绕着第一轴线旋转，所述末端执行器通过扭转电动机能够旋转地连接到所述扫描臂并被构造成选择性地固定工件，其中所述末端执行器进一步被构造成绕着第二轴线旋转并具有与所述第二轴线和所述扭转电动机相关联的轴承和密封件，其中所述第一轴线和所述第二轴线被定位成分隔开预定距离；启动所述扭转电动机；如果所述扭转电动机使所述末端执行器绕着所述第二轴线旋转，则在预定时间之后或当所述扭转电动机出现故障时使所述扭转电动机的旋转反向；确定所述末端执行器绕着所述第二轴线的旋转是否可接受；和当所述末端执行器的旋转不可接受时，使所述扫描臂绕着所述第一轴线往复运动，其中所述末端执行器的惯性造成所述末端执行器绕着所述第二轴线旋转。