一种闪耀光栅沟槽微结构变异的测试系统

摘要

本实用新型公开了一种可以准确地测试出闪耀光栅每个区域的沟槽微结构变异情况的闪耀光栅沟槽微结构变异的测试系统。本实用新型从光源模块发出的多波长宽光源以特定的入射角射入闪耀光栅，经闪耀光栅衍射后的光通过一个梳妆滤波器，梳妆滤波器滤出的波长再经由光谱仪接收，最后通过由Labview编写的程序对光谱仪接收到的波形进行数据分析来判断闪耀光栅的沟槽微结构变异情况。本实用新型的使用能够克服传统方法测试闪耀光栅沟槽微结构变异使用SEM、LSCM等昂贵的测试设备，测试范围小、测试速度慢和无法实现自动化等缺点，成本低、速度快，适用于大型企业和科研机构对闪耀光栅的沟槽微结构变异情况进行测试。

主权项

一种闪耀光栅沟槽微结构变异的测试系统，其特征在于：包括光源模块、待测衍射光栅、梳妆滤波器及光谱仪，其中待测衍射光栅能够将特定角度入射的光按照设计的衍射级产生衍射光。