发明名称 芯片封装方法
摘要 一种芯片封装方法,包括:提供半导体衬底,所述半导体衬底上具有金属焊盘和绝缘层,所述绝缘层具有暴露所述金属焊盘的开口;在所述金属焊盘上形成球下金属电极;在所述球下金属电极表面形成焊球,所述焊球具有第一围裙结构,所述第一围裙结构覆盖所述球下金属电极底部周围的金属焊盘。本发明的芯片封装方法增大了焊球和金属焊盘之间的附着力,提升了芯片封装的可靠性。
申请公布号 CN102931101A 申请公布日期 2013.02.13
申请号 CN201210444530.6 申请日期 2012.11.08
申请人 南通富士通微电子股份有限公司 发明人 林仲珉;沈海军
分类号 H01L21/48(2006.01)I 主分类号 H01L21/48(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 骆苏华
主权项 一种芯片封装方法,其特征在于,包括:提供半导体衬底,所述半导体衬底上具有金属焊盘和绝缘层,所述绝缘层具有暴露所述金属焊盘的开口;在所述金属焊盘上形成球下金属电极;在所述球下金属电极表面形成焊球,所述焊球具有第一围裙结构,所述第一围裙结构覆盖所述球下金属电极底部周围的金属焊盘。
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