发明名称 PLANARDIFFUSIONSVERFAHREN
摘要
申请公布号 DE2453134(B2) 申请公布日期 1976.11.04
申请号 DE19742453134 申请日期 1974.11.08
申请人 发明人
分类号 H01L21/225;H01L21/331;H01L21/8226;H01L27/02;H01L27/082;H01L29/73;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
主权项
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