用于控制激光器系统的有效工作温度的装置

摘要

本实用新型公开了一种控制激光器系统有效工作温度的装置，所述激光器系统主要包括气体高压放电腔体，所述装置包括一个冷却散热系统和一个加热装置。在激光器系统的开机过程中，对激光器系统的放电腔体进行预加热，使所述放电腔体达到有效工作温度；在激光器系统的放电腔体达到有效工作温度后，停止加热，开启放电腔气体高压放电工作运转，而后针对所述放电腔体高压放电运转产热进行冷却散热，使该放电腔体维持在有效工作温度。本实用新型综合利用了加热和冷却两方面的措施，可以有效地减少激光器系统的预热时间，减少能源消耗，同时有效散热，控温精度高，保障激光器系统在有效工作温度条件下的有效运转。

主权项

一种用于控制激光器系统的有效工作温度的装置，所述激光器系统包括放电腔体，所述装置包括一个冷却散热系统，其特征在于，该装置还包括一个加热装置(7)。