一种金属薄膜桥点火器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种金属薄膜桥点火器及其制备方法，主要用于汽车安全气囊和安全装置，还可推广应用于武器弹药系统、卫星及民用防撞气囊和爆破工程。该点火器采用了导热系数更小的基片、过渡层薄膜和热隔离层薄膜，使得Ni-Cr合金薄膜桥点火器发火电压低于4V，发火能量约为80微焦，发火时间小于50μs，有效降低了点火器的工作电压，提高了点火器的点火时间。同时，通过基片表面的通孔实现了点火器插塞极针与薄膜桥电极区的无引线连接，提高了点火器抗环境冲击能力，极大的提高了点火器的可靠性水平。采用了微细加工技术，金属薄膜桥点火器具有成本低、易批量生产等优点。

主权项

一种金属薄膜桥点火器，其特征在于，所述金属薄膜桥点火器（1）包括基片（2），设于基片（2）上的过渡膜（3），设于过渡层薄膜（3）上的热隔离膜（4），设于热隔离膜（4）上的金属电阻膜（5），设于金属电阻膜（5）上的电极薄膜（6），设于电极薄膜（6）上的通孔（13）；所述基片（2）材料为聚酰亚胺；所述过渡层薄膜（3）材料为Ta2O5；所述热隔离膜（4）材料为SiO2。