发明名称 |
一种新型的水冷常压等离子体自由基清洗喷枪 |
摘要 |
一种新型的水冷常压等离子体自由基清洗喷枪,包括射频电极、金属接地电极、射频电源以及水冷管路。其特征在于:喷枪上端接进气口,下端为喷口,四周用金属壳体密封,喷枪金属壳体壁面内置金属水冷管路,射频电极被介质阻挡层包覆,接地电极接地,常压下,射频电极与接地电极的间隙之间发生放电,产生等离子体,等离子体中的自由基在气流的携带下从喷口喷射出来,与被清洗物体表面有机物发生反应。在喷枪放电过程中,产生大量的热,聚集在喷枪腔内,表现为喷枪金属壳体温度较高,可达80-110℃,喷枪温度较高则会影响放电稳定性,同时缩短喷枪使用寿命,采用水冷降低金属壳体温度,既可有效降低喷枪壁面和腔内温度,又可使喷枪放电稳定,保证了喷枪处理效果。 |
申请公布号 |
CN102921674A |
申请公布日期 |
2013.02.13 |
申请号 |
CN201110227515.1 |
申请日期 |
2011.08.10 |
申请人 |
中国科学院微电子研究所 |
发明人 |
王守国;贾少霞;赵玲利 |
分类号 |
B08B7/00(2006.01)I;H05H1/28(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I |
主分类号 |
B08B7/00(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种新型的水冷常压等离子体自由基清洗喷枪,包括射频电极、金属接地电极、射频电源以及水冷管路。其特征在于:喷枪上端接进气口,下端为喷口,四周用金属壳体密封,喷枪金属壳体壁面内置金属水冷管路,射频电极被介质阻挡层包覆,接地电极接地,常压下,射频电极与接地电极的间隙之间发生放电,产生等离子体,等离子体中的自由基在气流的携带下从喷口喷射出来,与被清洗物体表面有机物发生反应。在喷枪放电过程中,产生大量的热,聚集在喷枪腔内,表现为喷枪金属壳体温度较高,可达80‑110℃,喷枪温度较高则会影响放电稳定性,同时缩短喷枪使用寿命,采用水冷降低金属壳体温度,即可有效降低喷枪壁面和腔内温度,又可使喷枪放电稳定,保证了喷枪处理效果。 |
地址 |
100029 北京市朝阳区北土城西路3号 |