| 发明名称 | 分离两种材料系统的方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种分离两种材料系统的方法，其步骤包含提供一蓝宝石块材；形成一氮化物系统于蓝宝石块材之上；形成至少二条空通道于蓝宝石块材与氮化物系统之间；蚀刻空通道中至少一内表面；及分离蓝宝石块材与氮化物系统。 | ||
| 申请公布号 | CN101477943B | 申请公布日期 | 2013.02.13 |
| 申请号 | CN200810001609.5 | 申请日期 | 2008.01.04 |
| 申请人 | 晶元光电股份有限公司 | 发明人 | 李亚儒;徐大正;谢明勋 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L33/00(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 张波 |
| 主权项 | 一种分离两种材料系统的方法，包含下列步骤：提供一蓝宝石块材，该蓝宝石块材具有一个连续平面；形成一氮化物系统于该蓝宝石块材的该连续平面之上，该氮化物系统与该蓝宝石块材接触；形成至少二条空通道于该蓝宝石块材与该氮化物系统之间，并与该蓝宝石块材直接接触；蚀刻该空通道中至少一内表面；及分离该蓝宝石块材与该氮化物系统。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹市 | ||