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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS52104871(A)
申请公布日期
1977.09.02
申请号
JP19760021139
申请日期
1976.03.01
申请人
HITACHI LTD
发明人
TANIDA YUUJI;HASHIMOTO TETSUICHI;SATOU KIKUJI
分类号
H01L29/78;H01L21/31;H01L21/316
主分类号
H01L29/78
代理机构
代理人
主权项
地址
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