发明名称
摘要
申请公布号 JP5140972(B2) 申请公布日期 2013.02.13
申请号 JP20060247089 申请日期 2006.09.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/8246;H01L27/105 主分类号 H01L21/8246
代理机构 代理人
主权项
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