| 发明名称 | 一种四探针测试仪的校准方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种四探针测试仪的校准方法，先通过标准模块用四探针测试仪自身的校准程序进行校准，然后再通过硅片标准片进行校准，使其测得的硅片标准片方阻的测试值接近于硅片标准片的方阻值。经过两次校准后，四探针测试仪检测硅片方阻时测得的方阻值更接近与准确值，减小了四探针测试仪的检测误差，提高了四探针测试仪检测的准确性。 | ||
| 申请公布号 | CN102928801A | 申请公布日期 | 2013.02.13 |
| 申请号 | CN201210469156.5 | 申请日期 | 2012.11.19 |
| 申请人 | 英利能源（中国）有限公司 | 发明人 | 郝帅 |
| 分类号 | G01R35/00(2006.01)I | 主分类号 | G01R35/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 魏晓波 |
| 主权项 | 一种四探针测试仪的校准方法，包括以下步骤：1）用标准模块对四探针测试仪进行校准；2）用硅片标准片对四探针测试仪进行校准。 | ||
| 地址 | 071051 河北省保定市朝阳北大街3399号 | ||