| 发明名称 | 一种嵌入式FOUP推车 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种嵌入式FOUP推车，通过放置台上嵌入式设置FOUP凹槽，从而能有效的防止FOUP在搬送过程的安全性和稳定性，从而提高了放置在FOUP中的测量标准片在静置或移动过程中的安全性，能有效避免由于测量标准片在搬送过程中损坏造成的成本损失。 | ||
| 申请公布号 | CN202728293U | 申请公布日期 | 2013.02.13 |
| 申请号 | CN201220229681.5 | 申请日期 | 2012.05.22 |
| 申请人 | 上海华力微电子有限公司 | 发明人 | 张颖;周菱霖 |
| 分类号 | B62B3/10(2006.01)I | 主分类号 | B62B3/10(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人 | 王敏杰 |
| 主权项 | 一种嵌入式FOUP推车，包括一推车，其特征在于，所述推车的放置台上嵌入设置有凹槽，所述凹槽的形状与FOUP的形状相匹配。 | ||
| 地址 | 201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号 | ||