发明名称 | 用于抛光由二氧化硅制成的表面的组合物 | ||
摘要 | 本发明涉及一种用于抛光表面的组合物,该组合物包含如下组分:a)至少一种包含镧系元素氧化物的无机磨料组分(S),b)至少一种由聚合物制成的有机分散剂组分(P),c)至少一种有机胶凝剂(G)如结冷胶,d)作为溶剂或分散介质的水,以及e)任选其它助剂和添加剂,并且具有高稳定性。 | ||
申请公布号 | CN101595190B | 申请公布日期 | 2013.02.13 |
申请号 | CN200780050589.4 | 申请日期 | 2007.12.28 |
申请人 | 巴斯夫欧洲公司 | 发明人 | S·H·贝伦斯;Y·刘;G·克恩;H·德布斯 |
分类号 | H01L21/304(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/304(2006.01)I |
代理机构 | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人 | 刘金辉;林柏楠 |
主权项 | 一种包含如下组分的用于抛光表面的组合物:a)至少一种包含密度为3.5‑9g/cm3的镧系元素氧化物的无机磨料组分(S),b)至少一种作为基于聚合物的有机分散剂组分(P)的羧酸聚合物,c)至少一种基于结冷胶的有机胶凝剂(G),d)作为溶解或分散介质的水,e)合适的话其它助剂和添加剂材料。 | ||
地址 | 德国路德维希港 |