| 摘要 |
本发明揭示用于广泛能量范围簇型离子束萃取应用之一种新类型之三极体萃取系统(一种簇型离子束萃取系统)，其同时亦仍可应用于原子及分子离子物质。萃取孔口板外形经设定以最小化射束交越且同时防护源免遭过量萃取电场，从而允许萃取间隙之较小值。此外，一新颖的聚焦特征经整合于此等新光学器件中，该聚焦特征允许藉由在广泛之射束能量范围内使用仅为几kV的双极偏压而使射束在非分散性平面中聚焦或散焦。此为优于单独静电透镜解决方案(例如单透镜)之优越的解决方案，单独静电透镜解决方案可能需要几十kV的偏压才能够使高能射束聚焦。 |
