具有隔离设置之反应装置的整合工具用之改良混合系统

摘要

一种整合处理工具，包含全晶圆处理模组及组合处理模组。用于组合处理模组之化学品系从包含一组第一岐管之输送系统馈入。第一岐管之各输出部耦合于至少一混合容器。各个混合容器之输出部馈入一组第二岐管中的多于一岐管。各组第二岐管之输出部馈入组合处理模组之多重隔离设置之反应器其中之一。