发明名称 于微机械结构中密封包装之光学组件
摘要 本发明揭示一种包含一光电子组件、一透镜及一反射镜(mirror)的光学模组,其被一含有一盖及一底座之微壳体紧密密封。该光学模组可被组装在一可动支架上以供将一光束对准到一具有一光波导的光学总成内。
申请公布号 TWI385764 申请公布日期 2013.02.11
申请号 TW094131374 申请日期 2005.09.12
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号 发明人 马可士;哈洛夫;柯立蓝
分类号 H01L23/28;G02B7/04 主分类号 H01L23/28
代理机构 代理人 洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼;颜锦顺 台北市南港区三重路19之6号2楼
主权项
地址 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号