| 发明名称 |
光阻剂组合物 |
| 摘要 |
本发明提供一种光阻剂组合物，其包含两种不同共聚物之混合物。 |
| 申请公布号 |
TWI385487 |
申请公布日期 |
2013.02.11 |
| 申请号 |
TW094126275 |
申请日期 |
2005.08.02 |
| 申请人 |
ＡＺ电子材料公司 日本 |
发明人 |
穆尼罗沙那 佩德马那班;林观阳;工藤隆范;洪致善;Ｍ. 达利 雷曼 |
| 分类号 |
G03F7/039;C08F220/18;C08L37/00 |
主分类号 |
G03F7/039 |
| 代理机构 |
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代理人 |
陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼 |
| 主权项 |
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| 地址 |
日本 |
