| 摘要 |
本发明系关于基板传送装置、基板传送方法、及储存媒体，本发明之一种基板传送装置100，其包括：一基板搬运构件4，其具有一搬运基体5与用于保持基板W的复数个保持臂41a至41e；一光学感测器62，其系用以界定一水平光轴L；一升降器构件52，其用于上下移动该搬运基体5；以及一高度侦测构件54，其用于侦测该搬运基体5相对于该光轴L的高度。依据从该光学感测器62馈送之一光接收/无光接收侦测结果与该搬运基体5之高度，一控制部7之一判断构件72a判断该等保持臂41a至41e相对于水平面的姿势是否正常。当该判断构件72a判断该等保持臂41a至41e相对于该水平面的姿势异常时，该控制部7实施控制以停止该基板搬运构件4。 |
