发明名称 涡轮分子帮浦及涡轮分子帮浦用粒状物捕集器
摘要 涡轮分子帮浦包括:一转子(30),形成多段的旋转翼(32)并高速旋转;复数个固定翼(33),相对于上述旋转翼(32)于帮浦轴方向交互地配置;一帮浦壳体(34),容纳上述旋转翼(32)及固定翼(33),并形成吸气口(21a);一圆盘(150),接近上述转子(30)的吸气口侧而设置,相向于比上述转子(30)的旋转翼根部还靠内径侧的表面配置;以及一圆筒状的网目构造体(153a、153b),配置于上述吸气口(21a)与上述转子(30)之间,以细线编织形成,其中由上述转子跳飞的粒子被捕捉至上述网目构造体(153a、153b)的内部。
申请公布号 TWI385307 申请公布日期 2013.02.11
申请号 TW099104100 申请日期 2010.02.10
申请人 岛津制作所股份有限公司 日本;东京电子股份有限公司 日本 发明人 关田幸照;久保田和马;守屋刚;菅原荣一
分类号 F04D19/04 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人 洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼
主权项
地址 日本