具喷嘴之氧化矽容器及制造方法

摘要

一具有一喷嘴之经熔合氧化矽坩埚系藉由首先将一经预塑的氧化矽玻璃管插入一石墨模子的下部分内而形成。管系对准于一可供模子沿其旋转之垂直轴线，同时氧化矽颗粒被倾倒至模子内且定形为坩埚的形式。一被插入管的顶部内之石墨插塞系使颗粒保持在管外。电极系生成一用以熔合颗粒且将其形成至管之电浆气体球。虽然石墨插塞覆盖有颗粒，熔融氧化矽系在熔合期间自插塞顶部后退藉以将喷嘴形成至坩埚。