薄膜过滤程序之线上侦测与分析装置

摘要

本发明揭露一种薄膜过滤程序之线上侦测与分析装置，其包含：一光感测装置，光感测装置包含复数个感测元件线型排列成一第一序列，光感测装置系用以测量滤材于一线型位置上滤饼厚度变化之一讯号资讯；一驱动装置，用以驱动光感测装置于滤饼上方进行与滤材平行之相对移动，以便于光感测装置测量滤材于至少一局部平面上滤饼厚度变化；以及一资讯处理装置，连接于光感测装置，用以连续地处理分析光感测装置所感测到之讯号资讯，进而即时推估出在过滤程序中，滤材于至少一局部平面上滤饼厚度之变化。