磁场增强式电浆反应器中的磁场成形方法

摘要

本发明提供一种用于在制程室中旋转磁场的方法。在一个实施方式中，一种用于旋转制程室中的磁场之方法包括：形成具有主形状的磁场；将主形状改变为至少二连续的过渡形状；以及将过渡形状改变为一经旋转的主形状。可选地，磁场可在遍及各个步骤中保持为几近恒定的强度。可选地，施加至磁场产生线圈之一或多者的一电流之最大值系等于零或者具有在任何两个邻近步骤之间反转的极性。