| 发明名称 |
处理液混合装置、基板处理装置及处理液混合方法与记忆媒体 |
| 摘要 |
本发明旨在提供一种处理液混合装置、基板处理装置及处理液混合方法与记忆媒体，可使以混合槽所产生之处理液混合比率保持于固定。首先令排出阀23、24、25阀门开启，并令供给阀26～31阀门闭合，并自排出阀23、24、25朝外部排出原料液体A、B、C。其后，在LFC20、21、22侦测之原料液体A、B、C之流量皆达到既定流量后，令排出阀23、24、25阀门闭合，并令供给阀27、29、31阀门开启，通过供给阀27、29、31对第2混合槽3供给原料液体A、B、C。 |
| 申请公布号 |
TWI385026 |
申请公布日期 |
2013.02.11 |
| 申请号 |
TW098100371 |
申请日期 |
2009.01.07 |
| 申请人 |
东京威力科创股份有限公司 日本 |
发明人 |
佐竹圭吾 |
| 分类号 |
B01F15/04;H01L21/30 |
主分类号 |
B01F15/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
周良谋 新竹市东大路1段118号10楼;周良吉 新竹市东大路1段118号10楼 |
| 主权项 |
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| 地址 |
日本 |
