制备氮掺杂二氧化钛之方法

摘要

一种制备氮掺杂二氧化钛(TiO2-xNx)之方法，系于一密闭腔体内置入一钛靶材与一基材，将空气与氩气(Ar)依流量比1.1~3通入密闭腔体中，并控制密闭腔体之工作压力于1.33×10-2Pa~0.13Pa，以物理气相沈积方法在该基材表面形成氮掺杂二氧化钛。由于本发明以空气作为反应气体，且背景真空度之要求较知方法为低，故具有制程时间短与成本低之优点。