分断装置及分断方法

摘要

本发明可对形成有切割道之基板施加均匀之力而准确地进行分断。将基板保持于平台22上，使基板于平台22之侧方突出并藉由定位部30将其定位。继而利用夹持单元40固定基板23之平台上之部分。接着使用分断单元50从上方按压基板23之突出部分，并沿切割道将其分断。藉此即便为小径之基板，亦可施加均匀之力而容易地进行分断。