| 摘要 |
1. Способ непрерываемого производства пучка ионов карборана с постоянной самоочисткой ионного источника и компонент системы экстракции ионного имплантера, заключающийся в том, что в ионизационную камеру подают рабочее вещество на основе карборана и сильные окислители, такие как фтор, или кислород, или хлор, или химическое соединение, содержащее одно или несколько из данных окислителей, либо химическое соединение данных веществ с углеродом, или водородом, или углеродом и водородом, которые вступают в химическую реакцию с продуктами, загрязняющими систему экстракции ионов, и/или внутреннюю поверхность ионизационной камеры, и/или ее компонент, с образованием летучих соединений, отличающийся тем, что в ионизационную камеру подают рабочее вещество на основе карборана, в котором атомы сильных окислителей включены в молекулу рабочего вещества, данные сильные окислители, при определенных условиях высвобождаясь из молекулы рабочего вещества, вступают в химическую реакцию с продуктами, загрязняющими систему экстракции ионов, и/или внутреннюю поверхность ионизационной камеры, и/или ее компонент, с образованием летучих соединений, образующиеся летучие соединения удаляют вакуумной откачкой.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве рабочего вещества используют 1,7-м-карборандикарбоновую кислоту (CHBO) и/или 1,2-о-карборандикарбоновую кислоту (CHBO).3. Способ по п.2, отличающийся тем, что образование карборана происходит в режиме разряда с фрагментацией рабочего вещества с образованием сильных окислителей для самоочистки и экстракцией ионов карборана (CBH). |
