发明名称 Einrichtung zur variablen Umlenkung von Licht
摘要 Beschrieben ist eine Einrichtung (100) zur variablen Umlenkung von Licht, die eine mikromechanische Spiegelanordnung (14) mit einer Vielzahl das Licht reflektierender Spiegelaktoren (18, 20, 22, 24, 26) und eine Steuereinheit (32) umfasst, mit der die Spiegelaktoren (18, 20, 22, 24, 26) zum Variieren der Lichtumlenkung in verschiedene Reflexionsstellungen steuerbar sind. Die Einrichtung (100) hat eine der Spiegelanordnung (14) planmäßig angepasste Rückreflexionsstruktur (60) zum gezielten Reflektieren des von einem Teil der Spiegelaktoren (18, 20, 22, 24, 26) auf die Rückreflexionsstruktur (60) reflektierten Lichtes zurück auf einen anderen Teil der Spiegelaktoren (18, 20, 22, 24, 26).
申请公布号 DE102011052336(A1) 申请公布日期 2013.02.07
申请号 DE20111052336 申请日期 2011.08.01
申请人 LEICA MICROSYSTEMS CMS GMBH 发明人 SCHREIBER, FRANK
分类号 G02B26/10;B81B3/00;B81B7/04;G02B5/09;G02B21/00;G02B26/08 主分类号 G02B26/10
代理机构 代理人
主权项
地址