DEVICE AND METHOD FOR PRODUCING THIN FILMS

摘要

In einer Vorrichtung zur Herstellung von dünnen Schichten auf Substraten bei der Solarzellenherstellung, wobei die dünnen Schichten mit einem APCVD-Verfahren aufgebracht werden bei Temperaturen von mehr als 250°C, werden die Substrate im Durchlaufbetrieb auf einer horizontalen Transportbahn transportiert und mittels einer APCVD-Beschichtung beschichtet. Dabei weist die Transportbahn Transportrollen auf, die aus einem temperaturbeständigen, nicht-metallischen Material bestehen, vorzugsweise aus Keramik. An der Seite der Transportbahn, die der Beschichtungsvorrichtung abgewandt ist, ist/sind eine Heizeinrichtung und/oder eine Spülgaszufuhreinrichtung angeordnet.