发明名称 APPARATUS FOR GROWING SEMICONDUCTOR LAYERS BY LIQUID PHASE EPITAXY
摘要
申请公布号 GB2070455(A) 申请公布日期 1981.09.09
申请号 GB19810005652 申请日期 1981.02.23
申请人 PHILIPS NV 发明人
分类号 H01L21/208;C30B19/06;(IPC1-7):C30B19/06 主分类号 H01L21/208
代理机构 代理人
主权项
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