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发明名称
EXPOSURE MASK FOR THIN LAYER ENGINEERING
摘要
申请公布号
JPS57116344(A)
申请公布日期
1982.07.20
申请号
JP19810183180
申请日期
1981.11.17
申请人
BEBU HOOHIBAAKUUMU DORESUDEN
发明人
HERUMUUTO BORINGERU;BERUNTO BIYUTSUKEN;RUYUUDEIGERU UIRUBERUKU
分类号
G03F1/00;G03F1/54;G03F7/26;H01L21/027;H01L21/30
主分类号
G03F1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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