新型多晶炉加热装置

摘要

一种新型多晶炉加热装置，包括：外壳、热场装置、加热装置、抽真空装置、悬挂支撑装置；热场装置包括：隔热笼、外保温层、内保温层、坩埚底板、热交换台侧部保温条、热交换台、底部保温层、热交换台底部保温层、顶部保温层；当需要定向结晶时，缓慢提起隔热笼，底部保温层与热交换台底部保温层脱离产生缝隙，大量的辐射热能会经热交换台从此缝隙散发，在硅液的结晶面形成一个垂直均匀分布的温度梯度，通过控制散热，加热使硅液的结晶凝固得到有效控制，从而生产出符合使用要求的多晶硅铸锭。

主权项

一种新型多晶炉加热装置，其特征在于，包括：外壳、热场装置、加热装置、抽真空装置、悬挂支撑装置；其中，外壳包括上腔体和下腔体；悬挂支撑装置包括提升杆、吊耳和支撑杆；支撑杆垂直固定于外壳底部，提升杆垂直连接于外壳内部，提升杆顶端与外壳顶部的提升装置相连，提升杆底端与设置在热场装置顶面的吊耳相连；热场装置为可从下底面打开的长方体腔体，热场装置通过在其顶部与提升杆连接及底部与支撑杆连接来固定悬吊在外壳内，加热装置位于热场装置内且罩在石英坩埚上，抽真空装置位于外壳外并通过管道与外壳上对应的孔相连。