内含三只垂直轴心的晶圆传送机械手臂

摘要

本实用新型涉及一种内含三只垂直轴心的晶圆传送机械手臂，滚珠螺杆（4）与三支滑杆（5）分别与连接座（2）连接，讯号线导杆（15）穿过连接座（2）将连接基座（1）与连接底座（3）连接，滚珠螺杆螺帽固定组（24）将滚珠螺杆固定锁住，垂直升降马达（6）与马达固定座（22）连接并置于连接底座（3），结合轴心保护盖板（16,17,18）组装于手臂主结构，组装手臂侧抽风扇盖板组（12,13,14）分别与风扇侧盖组（19,20,21,23）连接并安装于手臂主结构上，顶端抽风扇（10）与抽风导管（11）安装于连接基座（1）上，滑杆保护盖（7,8,9）安装于手臂主体结构上。本技术方案的有益效果是：传送的精准度及稳定性高，偏摆现象降低，使用寿命延长，设备的维护周期延长，减轻工程人员的工作负担。

主权项

一种内含三只垂直轴心的晶圆传送机械手臂，其特征在于，滚珠螺杆（4）与三支滑杆（5）分别与连接座（2）连接，讯号线导杆（15）穿过连接座（2）将连接基座（1）与连接底座（3）连接，滚珠螺杆螺帽固定组（24）将滚珠螺杆固定锁住，垂直升降马达（6）与马达固定座（22）连接并置于连接底座（3），结合轴心保护盖板（16,17,18）组装于手臂主结构，组装手臂侧抽风扇盖板组（12,13,14）分别与风扇侧盖组（19,20,21,23）连接并安装于手臂主结构上，顶端抽风扇（10）与抽风导管（11）安装于连接基座（1）上，滑杆保护盖（7,8,9）安装于手臂主体结构上。