多晶硅还原炉

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅还原炉，包括：炉壳体，其底部设置有底盘，底盘上开设有多个电极孔、至少一进气孔和至少一出气孔，其中，电极孔以进气孔为中心呈正多边形排列，电极孔位于正多边形的顶点；多个电极，分别设于电极孔中，电极上连接有硅棒；至少一进气管，连接于进气孔；至少一出气管，连接于出气孔。本多晶硅还原炉由于混合气进气管位于电极组成的正多边形中心,混合气出气管均匀分布在底盘上,所以工艺气体能均匀地扩散到正多边形顶点的硅棒表面,生成的多晶硅也更加均匀。

主权项

一种多晶硅还原炉，其特征在于，包括：炉壳体，其底部设置有底盘，所述底盘上开设有多个电极孔、至少一进气孔和至少一出气孔，其中，所述电极孔以所述进气孔为中心呈正多边形排列，所述电极孔位于所述正多边形的顶点；多个电极，分别设于所述电极孔中，所述电极上连接有硅棒；至少一进气管，连接于所述进气孔；至少一出气管，连接于所述出气孔。