| 发明名称 | 机台装置 | ||
| 摘要 | 提供了一种在正式设置场所的组装精度较高且作业容易的机台装置。在本发明的机台装置(5)中，分别连接于主底座板(11)上的第一、第二主轨道(17a、17b)且使第一、第二主轨道(17a、17b)延长的副轨道(18)设置于各个副底座板(21)上。所以，当对副底座板(21)进行对位并固定于主底座板(11)时，不影响已经固定在主底座板(11)的副底座板(21)的对位精度。 | ||
| 申请公布号 | CN101790785B | 申请公布日期 | 2013.02.06 |
| 申请号 | CN200880105619.1 | 申请日期 | 2008.08.27 |
| 申请人 | 株式会社爱发科 | 发明人 | 田中保三;汤山纯平;矢作充;南展史;高桥诚;伊藤慎也 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01)I;B05C5/00(2006.01)I;B23Q1/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/68(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 严志军;杨楷 |
| 主权项 | 一种机台装置，具有：四边形形状的主底座板；两片副底座板，固定在所述主底座板的同一边且能够互相分离；第一、第二主轨道，直线状地延伸设置在所述主底座板上且互相平行地配置；副轨道，分别配置在所述两片副底座板上且分别接连于所述第一、第二主轨道的端部；移动部件，在所述第一、第二主轨道上和所述两片副底座板的所述副轨道上行走，构成为能够在所述主底座板的上方位置和固定于所述主底座板的所述同一边的所述两片副底座板间的上方位置之间移动；以及调整机构，能够独立地对每个所述副底座板变更所述副底座板相对于所述主底座板的高度、斜率以及水平方向的位置和方向，其中，所述两片副底座板构成为分别能够从所述主底座板的所述同一边分离。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||