波前测量装置和波前测量方法

摘要

本发明公开了波前测量装置和波前测量方法。一种波前测量装置，包括：由光形成周期模式的光学元件，具有用于检测光的像素的检测器，以及基于检测器的检测结果来计算透过样本或被样本反射的光的波前中的多个位置处的波前信息的计算机。检测器检测由光形成的第一周期模式以及由光形成的并且在相位上从第一周期模式进行了偏移的第二周期模式。计算机通过使用在检测到第一周期模式时在像素中的第一像素中检测到的结果、在检测到第一周期模式时在像素中的第二像素中检测到的结果以及在检测到第二周期模式时在第一像素中检测到的结果来计算多个位置中的一个位置处的波前信息，其中，第二像素位于离第一像素在三个像素以内的位置处。

主权项

一种波前测量装置，包括：光学元件，其被布置成由从光源发出的光形成周期模式；检测器，其具有用于检测从所述光学元件进入所述检测器的光的多个像素；以及计算机，其被配置成基于所述检测器的检测结果计算已经透过样本或已经被所述样本反射的光的波前中的多个位置处的波前信息，其中，所述检测器检测由来自所述光学元件的光形成的第一周期模式以及由来自所述光学元件的光形成的并且相位相对于所述第一周期模式的相位进行了偏移的第二周期模式，并且其中，所述计算机通过使用以下各项来计算所述多个位置中的一个位置处的所述波前信息：在检测到所述第一周期模式时在所述多个像素中的第一像素中检测到的检测结果；在检测到所述第一周期模式时在所述多个像素中的第二像素中检测到的检测结果，所述第二像素位于离所述第一像素在三个像素以内的位置处；以及在检测到所述第二周期模式时在所述第一像素中检测到的检测结果。