负型感光性含氟芳香族类树脂组合物

摘要

本发明提供兼具低比介电常数、低吸水率、高耐热性、高生产性的负型感光性含氟芳香族类树脂组合物。所述组合物是包含下述含氟芳香族预聚物、感光剂、溶剂的负型感光性含氟芳香族类树脂组合物。在这里，含氟芳香族预聚物是通过使具有交联性官能团(A)和酚性羟基的化合物(Y-1)及具有交联性官能团(A)和氟原子取代芳香环的化合物(Y-2)中的至少任一方、以下述式表示的含氟芳香族化合物(B)以及具有3个以上的酚性羟基的化合物(C)在脱HF剂的存在下进行缩合反应而获得，具有交联性官能团(A)和醚键，数均分子量为1×10³～5×10⁵；式中，n表示0～3的整数，a、b分别独立地表示0～3的整数，Rf¹和Rf²分别表示可以相同或不同的碳数在8以下的含氟烷基，芳香环内的F表示该芳香环的氢原子全部被氟原子取代。

主权项

1.含氟芳香族类树脂膜的制造方法，所述含氟芳香族类树脂膜是将负型感光性含氟芳香族类树脂组合物涂布于基材上，形成负型感光性含氟芳香族类树脂组合物膜，曝光、显影而得到，具有凹凸形状，所述的负型感光性含氟芳香族类树脂组合物包含下述含氟芳香族预聚物、至少1种感光剂和至少1种溶剂，所述含氟芳香族预聚物是通过使具有交联性官能团(A)和酚性羟基的化合物(Y-1)及具有交联性官能团(A)和氟原子取代芳香环的化合物(Y-2)中的至少任一方、以下述式(1)表示的含氟芳香族化合物(B)以及具有3个以上的酚性羟基的化合物(C)在脱HF剂的存在下进行缩合反应而获得，具有交联性官能团(A)和醚键，数均分子量为1×10³～5×10⁵的含氟芳香族预聚物，式中，n表示0～3的整数，a、b分别独立地表示0～3的整数，Rf¹和Rf²分别表示可以相同或不同的碳数在8以下的含氟烷基，芳香环内的F表示该芳香环的氢原子全部被氟原子取代；所述含氟芳香族类树脂膜的制造方法的流程如下所述：在50～250℃的温度下预烘焙，曝光，显影，在80～200℃的温度下烘焙，在150～450℃下的温度下进行加热处理。