一种石墨烯的生产装置

摘要

本实用新型公开了一种石墨烯的生产装置，主要包括卧式反应腔、若干根石英反应管、各石英反应管分别置于耐热金属套中，并通过耐火砖架固定在卧式反应腔内，耐热金属套的长度大于石英反应管的长度，每根石英反应管的管腔内设有石英舟，所说的石英舟为具有平滑内表面的石英舟或为内表面均布有轴向槽的石英舟，在耐热金属套的进口端和出口端分别安装进口阀门和出口阀门，真空泵与耐热金属套的进口端相连，碳源、还原气体和惰性气体经气体混合器进入石英反应管。该装置结构简单，操作容易，反应面积大，不仅能够在常压条件下实现石墨烯的生产，也可以在低压条件下实现石墨烯的生产，在大幅度地提高石墨烯生产效率的同时，也扩大了石墨烯的生产工艺条件。

主权项

一种石墨烯的生产装置，其特征是包括卧式反应腔(16)、若干根石英反应管(1)、耐热金属套 (17)、进口阀门(18)、出口阀门(20)、真空泵(19)、碳源储罐(8)、还原气体储罐(9)和惰性气体储(10)，各石英反应管(1)分别置于耐热金属套 (17) 中，并通过耐火砖架(3)固定在卧式反应腔(16)内，耐热金属套 (17)的长度大于石英反应管(1)的长度，每根石英反应管的管腔内设有石英舟，所说的石英舟为具有平滑内表面的石英舟(4)或为内表面均布有轴向槽的石英舟(5)，在耐热金属套的进口端和出口端分别安装进口阀门(18)和出口阀门(20)，真空泵(19)与耐热金属套 (17) 的进口端相连，碳源储罐(8)、还原气体储罐(9)和惰性气体储罐(10)分别通过碳源质量流量控制器(11)、还原气体质量流量控制器(12)和惰性气体质量流量控制器(13)与气体混合器（14）的一端相连，气体混合器（14）的另一端与耐热金属套 (17) 的进口端相连，耐热金属套 (17)出口端与废气回收处理器(15)相连，在卧式反应腔(16)外设有加热装置(6)和温控柜(7)。