| 发明名称 | 防腐防沉积的真空管道和具有它的微电子设备 | ||
| 摘要 | 本实用新型提出了一种真空管道，包括：管体，所述管体的壁上设有用于向所述管体内供给保护气体以避免在所述管体内输送的物料腐蚀所述管体的内壁和/或沉积在所述内壁上的供气孔。根据本实用新型实施例的真空管道，管体上设置有供气孔可向管体内供给保护气体，从而可以在管体的内壁上形成有一层保护气膜，进而避免了在管体内输送的物料腐蚀管体的内壁和/或沉积在管体的内壁上，可提高管体的使用寿命，降低成本。本实用新型还提出了一种具有上述真空管道的微电子设备。 | ||
| 申请公布号 | CN202719330U | 申请公布日期 | 2013.02.06 |
| 申请号 | CN201220214877.7 | 申请日期 | 2012.05.14 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 南建辉 |
| 分类号 | F16L58/00(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | F16L58/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人 | 宋合成 |
| 主权项 | 一种真空管道，其特征在于，包括：管体，所述管体的壁上设有用于向所述管体内供给保护气体以避免在所述管体内输送的物料腐蚀所述管体的内壁和/或沉积在所述内壁上的供气孔。 | ||
| 地址 | 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号 | ||