大面积电极上的紧密安装的陶瓷绝缘体

摘要

本发明的实施例通常包括与喷头组件一起使用之屏蔽框组件，以及具有屏蔽框组件之喷头组件，屏蔽框组件包括绝缘体，该绝缘体紧密安装围绕于真空处理腔室中之喷头的外缘。于一实施例中，喷头组件包括气体分配板以及多片式框组件，多片式框组件界定气体分配板的外缘边缘。多片式框组件容许气体分配板膨胀，而不会产生可能导致电弧放电之间隙。在其它实施例中，绝缘体经定位而使集中于气体分配板外缘的电场位在绝缘体中，从而降低电弧放电的可能性。

主权项

一种多片式框组件，用以界定气体分配板的外缘边缘，该多片式框组件包含：第一短延长框构件，在第一端中具有孔洞，且在第二端中具有狭槽；第二短延长框构件，在第一端中具有孔洞，且在第二端中具有狭槽；第一长延长框构件，在第一端中具有孔洞，且在第二端中具有狭槽；以及第二长延长框构件，在第一端中具有孔洞，且在第二端中具有狭槽。